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洁净室末端高效过滤器的检漏方法

洁净室末端高效过滤器的检漏方法
浏览次数:11 次  发布时间:2018-08-29  
    高效过滤器主要过滤0.3um(微米)的细小颗粒,因此广泛用于电子、半导体、精密机械、生物制药、医院、食品等各行各业中对空气洁净度要求较高的民用或工业洁净工程。
    洁净室安装竣工后检测必不可少,洁净室工程检测项目比较繁多,例如洁净度检测、风量检测、压力检测、噪音检测、照度检测、地板静电系数检测等。本文为大家介绍的就是洁净度检测项目里面的其中一项:高效过滤器检漏。
    高效过滤器对检漏的要求:
    被检过滤器应检测过风量并在设计风量的80%~120%条件下运行。被检过滤器上游的粒子浓度被检过滤应满足下列要求:对受控粒径≥0.5μm的浓度,应不小于3.5x104pc/L对受控粒径≥0.5μm的浓度,应不小于3.5x104pc/L
    检漏方法:
    用粒子计数器对安装的接缝和主断面进行扫描检漏。检漏点应距离被检表面20~30mm。扫描的速度5~20mm/s,扫描检漏的部位为过滤器整个断面,封头胶,安装框架等处。扫描检漏用的粒子计数器的最小采样量应大于1L/min。
    合格标准:
    被检过滤器下游的粒子浓度换算成穿透率,高效过滤器不应大于出厂合格穿透率的两倍。
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